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碳氮共滲后由共滲溫度820～860℃直接在110～200℃熱油或堿浴中分級淬火1～15min后空冷，再進行160～200℃低溫回火。此工藝工件變形小，適用于尺寸要求較嚴格的合金鋼件。

碳氮共滲后空冷或在冷卻坑中緩冷，然后重新加熱淬火+低溫回火熱處理。適用于共滲后需機械加工或因各種原因不宜直接淬火的工件。

碳氮共滲后從共滲溫度直接淬火，然后在-80～-70℃介貢中進行冷處理，隨后進行低溫回火，以減少表層殘留奧氏體，提高硬度，穩定尺寸。適用于含鉻、鎳較多的合金鋼，如12CrNiA、20Cr2Ni4A、18CrNiWA等。

碳氮共滲后空冷或在冷卻坑中緩冷，然后進行高溫回火熱處理（應在生鐵屑或保護氣氛中），以減少殘留奧氏體，再重新加熱淬火+低溫回火。適用于含鉻、鎳較多的合金鋼，以及碳氮共滲后尚需機械加工件。